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成膜加工

スパッタ成膜実績一覧

金属
貴金属 磁性体 シリサイド系 カーボン系 合金 酸化膜 窒化膜 透明導電膜 光学膜 誘電膜 樹脂
Al Au Ni Si(N型) C Al-Cu SiO TiN ITO パイレックス BaTiO3 テフロン
Ti Pt  Fe Si(P型) SiC Al-Si SiO2 AlN AZO サイアロン YBCO ポリイミド
Cr Ag Co CrSi2 TaC Al-Si-Cu CeO2 Si3N4 GZO ムライト PSZ ポリアミド
Cu Ir Fe2O3 CrSi2 TiC Al-Sc TiO TaN SnO2 BK7 PZT ポリエチレン
In  W Fe3O4 MoSi2.5 Mo2C Al-Ti TiO2 BN ZnO MgF2 Li2O  
Hf  Ta フェライト NiSi2 NbC Ti-W Ta2O5 Cr2N IGZO LaF2 LiMn2O4  
Sb Mo パーマロイ TaSi2 HfC Ni-Cr Cr2O3 ZrN   ZnS LiNbO3  
Pb Nb センダスト TiSi2 WC Ni-Cr-Si ZrO2     CuAlO2 Li3Ti5O12  
Sn  Ru   WSi0.4 VC Cu-Cr In2O3     コーニング#7059 Li3PO4  
V     WSi2 DLC Cu-Ni CuO     コーニング#7570 NiLiOx  
Zn     WSi2.5   Co-Cr Al2O3     Ge LiCoO2  
Zr     ZrSi2   In-Sb HfO2       SrTiO3  
Mg         TiC-SiO2 MgO       TiB2  
Bi         TaSiO2 Mn2O3       LaB6  
          Ta-SiP3-Ni MnO2          
          SUS304 Y2O2          
          SUS316 Nb2O5          
            CrSiO          
            CoO          
            BaO3