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ナノインプリント

当社ではリソグラフィーとNi電鋳の技術を利用してナノインプリント用のモールドを提供いたします。

アライナー、ステッパー、レーザー直描、電子線描画とパターン精度に合わせた露光装置の選択が可能です。

Niモールド

  • Ni電鋳による微細金型
  • ホール、ピラー、ラインパターンなど50nm以下の微細モールドの提供が可能

石英モールド

  • UV転写用に石英モールドの提供が可能

転写・成型

UV式転写/熱式転写/成型の受託加工が可能です。

  • ご要望に合わせた転写材料(樹脂・レジストetc)に転写/成型が可能です。
  • ナノインプリント技術導入可否のご検討に、装置導入前の評価、ナノインプリント技術の基礎実験や初期ご検討にお役立てください。

UVインプリントの転写例 ≪使用レジスト:PAK-01≫


60nm L/S=1:2
60nm L/S=1:2
60nm L/S=1:5
60nm L/S=1:5
70nm L/S=1:5
70nm L/S=1:5

ナノインプリントについて解説したページ「ナノインプリントについて」も御覧ください。