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レーザー加工 加工例

当社の得意とする短パルスレーザー(ピコ秒レーザーフェムト秒レーザー)での加工例を紹介致します。

高硬度、高脆性材や金属へ熱影響の非常に少ない加工が特長です。

熱影響による基材の変形が極少の為、高密度の穴あけが可能です。

 

セラミックスへの加工

窒化珪素Φ100μm貫通穴(t0.2㎜)
窒化珪素Φ100μm貫通穴(t0.2㎜)
窒化珪素Φ35μm貫通穴(t0.3㎜)
窒化珪素Φ35μm貫通穴(t0.3㎜)

アルミナΦ60μm貫通穴(t0.38㎜)
アルミナΦ60μm貫通穴(t0.38㎜)
ジルコニアΦ110μm貫通穴(t0.3㎜)
ジルコニアΦ110μm貫通穴(t0.3㎜)

Si、ガラスへの加工

SiウエーハΦ100μm貫通穴(t0.3㎜)
SiウエーハΦ100μm貫通穴(t0.3㎜)
合成石英Φ90μm貫通穴(t0.5㎜)
合成石英Φ90μm貫通穴(t0.5㎜)

金属への加工

ニッケルへのディンプル加工
ニッケルへのディンプル加工
拡大(Φ200μm、深さ30μm)
拡大(Φ200μm、深さ30μm)

ニッケルへのエンボス加工
ニッケルへのエンボス加工
拡大(Φ200μm、高さ30μm)
拡大(Φ200μm、高さ30μm)

ステンレス切断加工(櫛葉)
ステンレス切断加工(櫛葉)
ステンレス角穴抜き加工
ステンレス角穴抜き加工