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レーザー加工

当社では短パルス、短波長の微細加工用レーザーでの非熱的加工が可能です。短パルスレーザーの特長を生かした熱影響の少ない加工、短波長レーザーの特長を生かした深さ及び形状制御の出来る微細加工、アプリケーションとしてステルスレーザーダイシングの受託も可能です。

 

レーザーについて解説したページ「レーザーとは?」も御覧ください。

 
PETフィルムへの溝加工
PETフィルムへの溝加工

短パルスレーザー

ピコ秒レーザー、フェムト秒レーザーなどパルス幅が10p~800fsec程度のレーザー素材に対する熱影響が極小でガラスの切断、穴あけに有効

ガラス切断加工断面
ガラス切断加工断面

短波長レーザー

  • KrFエキシマレーザーに代表される紫外域の波長を持つレーザー
  • 深さ制御の必用な加工に有効。
  • 露光装置の様な一括露光も可能
  • 応用でV溝、テーパー溝も加工可能
  • 樹脂への微細溝加工、微細穴加工に有効
シリコン貫通穴加工
シリコン貫通穴加工
ポリイミドへのV溝加工
ポリイミドへのV溝加工


レーザー加工例

薄膜除去
薄膜除去
Niパイプ切断
Niパイプ切断
SUS切断及び溶接
SUS切断及び溶接

ポリイミド穴あけ(φ30μm)
ポリイミド穴あけ(φ30μm)
アルミナ溝加工(溝幅50μm)
アルミナ溝加工(溝幅50μm)
シリコンへの斜め穴加工
シリコンへの斜め穴加工

リコンへの貫通穴加工 (φ80μm、板厚650μm)
リコンへの貫通穴加工 (φ80μm、板厚650μm)
髪の毛への文字掘り込み (文字幅5μm)
髪の毛への文字掘り込み (文字幅5μm)
ステンレスへの穴あけ
ステンレスへの穴あけ

さらに加工例をご覧いただけます。

こちら レーザー加工 加工例